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11 月 17 日消息,据国外媒体报道,光刻机制造商阿斯麦的 CEO 兼总裁彼得・维尼克 (Peter Wennink),在本周前往了韩国,出席华城半导体集群的动工仪式。

ASML 阿斯麦 CEO 透露高数值孔径极紫外光刻机 2024 年开始出货-1

而外媒的报道显示,在韩国期间,除了与韩国相关的业务,彼得・维尼克还透露了他们下一代极紫外光刻机,也就是多家客户期待的高数值孔径极紫外光刻机的消息。

从外媒的报道来看,彼得・维尼克是在当地时间周二于首尔的一场新闻发布会上,透露高数值孔径极紫外光刻机的消息的,他透露将在 2024 年开始出货

此外,彼得・维尼克在会上还透露,就长期而言,他们计划每年生产 20 台高数值孔径极紫外光刻机

阿斯麦官网公布的消息显示,他们的高数值孔径极紫外光刻机,将命名为 EXE 系列,数值孔径将由 0.33 增至 0.55,用于 2nm 及以下的制程工艺

从阿斯麦此前在财报中披露的消息来看,他们的 EXE 系列高数值孔径极紫外光刻机,已有 TWINSCAN EXE:5000 和 TWINSCAN EXE:5200 两个型号,前者在 2018 年就已开始获得客户的订单,后者在今年年初也获得了首台订单。

虽然彼得・维尼克透露他们的高数值孔径极紫外光刻机在 2024 年就将开始出货,但后续还需要进行安装和测试,因而他们的客户还需要一段时间才能投入生产

阿斯麦在官网上也披露,他们向客户供应的首台以研发为目的的高数值孔径极紫外光刻机,预计在 2023 年底出货,用于大规模生产的,预计 2025 年开始在客户的工厂全面投入运营。

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